硅片邊沿曝出設備氣動(dòng)隔振系統的特性
 

硅片邊沿曝出設備氣動(dòng)隔振系統作為工業(yè)生產(chǎn)中的一種重要減振器，其主要的功效在于控制生產(chǎn)過(guò)程中各部構件配合產(chǎn)生的噪音以及異常震動(dòng)，能顯著(zhù)提升設備使用壽命、使用者的體驗性和生產(chǎn)過(guò)程的穩定性。目前，氣動(dòng)隔振系統及主動(dòng)減振系統已經(jīng)成為了工業(yè)活動(dòng)重要部件。

 

主要區別就在于其工程控制對象的差異。硅片邊沿曝出設備氣動(dòng)隔振系統的工作原理是控制振動(dòng)源，促使振動(dòng)源不能將震動(dòng)傳導到其他工業(yè)設備中，起到減震減振的功效。而主動(dòng)減振系統的工作原理是保護受震動(dòng)部件，促使受保護部件不會(huì )受到外來(lái)的振動(dòng)源的影響。可是，主動(dòng)減振系統不會(huì )像氣動(dòng)隔振系統那樣控制振動(dòng)源的影響。因此，如果振動(dòng)源能夠影響多個(gè)部件，則氣動(dòng)隔振系統更加適合該工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程。

2個(gè)重要特性就是其設計方案的精密性和組裝步驟的便利性。一般能夠被廣泛運用在不同設備上，具有良好的適應性。一些使用了高純度石墨復合型橡膠的密封件的氣動(dòng)隔振系統，能夠當出現氣體泄漏以后持續工作一段時(shí)間，該特點(diǎn)提升了在維修方面的開(kāi)放式。
 

綜上，氣動(dòng)隔振系統在工業(yè)設備中具有廣泛應用性，根據減振目標、彈簧材料和工藝的差異，其性?xún)r(jià)比也就不同，需要在市場(chǎng)中與同類(lèi)產(chǎn)品進(jìn)行充分比較，才能選出能滿(mǎn)足需求的產(chǎn)品。